光栅尺是精密测量设备，它的维护保养对于提高测量精度有很大作用。以下是正确擦拭光栅尺的方法以及擦拭过程中要注意的问题：
    首先用脱脂棉球蘸无水酒精，手拿棉球从光栅尺的一端擦向另一端，然后换掉这个棉球，用干净棉球接着擦。棉球不能重复使用，注意不能来回擦。擦的过程中尤其要注意的是不要碰读数头。因为读数头是用于读取光栅刻度的传感器，它的位置和与光栅的距离都是精确调整的。如果发生变化会造成读数错误，以至于不能启动系统，所以千万要注意；而且不要让棉球的纤维粘在光栅上，读数头有静电会吸附纤维影响读数。光栅尺不宜经常擦，一季度或半年擦一次就可以了。
    对于Renishaw的开放式光栅尺，光栅尺表面有一层保护膜。如果要清洁它，可以用绒布蘸清水轻擦；或者用无水乙醇来擦拭，但无水乙醇的质量一定要高，不能含有甲醇，甲醇是会腐蚀这层薄膜的。绝不能用有腐蚀的溶剂如丙烔、甲苯，因为这样会严重破坏这层保护膜。这层保护膜可以使你很容易的用柔软的布擦拭掉，如果重度的污染，比如长时间没有擦拭光栅尺，导致油污粘的很牢，可以用正庚烷或者异丙醇擦拭。